切向喷射式MOCVD反应器的设计与数值模拟

• 作者: 于海群 左然 徐谦 李晖 王国斌 陈景升
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 工学
• 关键词: MOCVD反应器 切向喷射 中心出口 螺旋流动 数值模拟
• 年，卷（期）: 2010,（1）
• 页码范围: 267-271
• 页数: 5页
• 分类号: TB321
• 字数: 2526字
• 语种: 中文

摘要

本文提出一种新的切向喷射式MOCVD反应器,反应气体从均匀分布于内壁的切向进口喷管喷入反应器,尾气从位于反应器中心的上方或下方出口排出.通过切向喷射,使气体发生人工可控的螺旋流,在水平方向逐渐旋转与加速,从而补偿反应物浓度从边缘进口到中心出口的沿程损失,以便获得均匀的薄膜沉积.针对新的反应器设计,结合GaN的MOCVD生长进行了三维数值模拟,确定了喷管夹角、喷管数目和反应器高度对生长区的温场、流场和浓度场的影响,优化了参数组合,并与传统的垂直喷射式反应器作了对比.此外,这款新型反应器能够摆脱复杂的托盘旋转系统.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	左然	江苏大学能源动力学院	69	606	14.0	22.0
2	徐谦	江苏大学能源动力学院	13	107	6.0	10.0
3	李晖	江苏大学能源动力学院	9	71	4.0	8.0
4	于海群	江苏大学能源动力学院	16	158	8.0	12.0
5	王国斌	江苏大学能源动力学院	2	18	2.0	2.0
6	陈景升	江苏大学能源动力学院	6	53	4.0	6.0