一种新型玻璃基底可用于微陀螺的反磁悬浮结构的设计与制造

• 作者: 刘凯 刘武 张卫平 张忠榕 戴福彦 陈文元
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 航空航天
• 关键词: 反磁悬浮 微陀螺 微机电系统 玻璃基底
• 年，卷（期）: 2010,（1）
• 所属期刊栏目: 物理类传感器
• 页码范围: 68-73
• 页数: 6页
• 分类号: V241.553
• 字数: 5332字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2010.01.015

摘要

主要介绍了反磁悬浮系统的悬浮和稳定的原理以及用作惯性传感器的原理.研究了对反磁悬浮微器件理论.使用ANSOFT的MAXWELL 3D有限元软件包分析了反磁转子悬浮微器件的悬浮问题,对于转子的悬浮、稳定和旋转进行了系统的仿真分析,包括受力分析与位移分析.对反磁悬浮微器件的制作工艺进行了研究.对反磁悬浮器件进行了相关实验.