Offner补偿器的结构设计与装调

• 作者: 冯睿 刘伟奇 康玉思 柳华 苗二龙 陈旭 魏仲伦
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 非球面检测 Offner补偿器 公差分配
• 年，卷（期）: 2010,（1）
• 所属期刊栏目: 现代应用光学
• 页码范围: 88-93
• 页数: 6页
• 分类号: TH703
• 字数: 3030字
• 语种: 中文

摘要

针对90 nm节点光刻投影镜头中使用的非球面存在高次项,且与理想球面偏离量较大的特点,基于像差补偿理论,设计了一种三片式结构的Offner补偿器来实现非球面的高精度检测.采用等量轴向球差补偿非球面各阶系数的方法,主动引入一定量的轴向球差,补偿光线在非球面法线方向的偏离量.结果表明,初级像差和高级像差可很好地平衡,使剩余像差很小;MTF 远远超过衍射极限;系统工作波长为632.8 nm,F数为1.64,均方波差RMS<λ/1 250;系统轴向像差＜0.47 μm,满足基本干涉成像条件;各方面指标均满足高精度检测补偿器的设计要求.最后,根据现有检测装置的精度对所设计的结果进行了公差分析,给出了较宽松的公差容限.公差分配后,系统综合残余波像差＜0.007 27λ,满足系统装调精度要求.