La_(1-x)Sr_xMnO_3电极的制备及其对Ba_(1-x)Sr_xTiO_3薄膜介电性能的影响

• 作者: 于玲君 付兴华 崔永涛 辛立强
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 溶胶-凝胶技术 La_(1-x)Sr_xMnO_3电极 Ba_(1-x)Sr_xTiO_3 外延生长 介电性能
• 年，卷（期）: 2010,（1）
• 页码范围: 262-266
• 页数: 5页
• 分类号: O484
• 字数: 2952字
• 语种: 中文

摘要

采用溶胶-凝胶法在Si(100)基底上制备了La_(1-x)Sr_xMnO_3电极材料.采用XRD、SEM对材料的晶体结构、表面形貌、薄膜厚度进行了表征,研究了退火温度对薄膜结构及电阻率的影响,以及介电常数与介电损耗随频率变化的关系.结果表明:在x=0.5,退火温度为800 ℃时,La_(0.5)Sr_(0.5)MnO_3薄膜的电阻率为1.2×10~(-2) Ω·cm.La_(0.5)Sr_(0.5)MnO_3薄膜与Ba_(1-x)Sr_xTiO_3匹配性较好,实现了BST薄膜的外延生长,其介电性能比在Pt上制备的Ba_(1-x)Sr_xTiO_3得到了明显的改善.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	付兴华	济南大学材料学院	56	382	10.0	17.0
2	辛立强	济南大学材料学院	5	12	2.0	3.0
3	于玲君	济南大学材料学院	6	17	3.0	4.0
4	崔永涛	济南大学材料学院	6	17	3.0	4.0