一种新型垂直扫描白光显微干涉测量仪

• 作者: 王生怀 谢铁邦 陈育荣
• 来源期刊: 工具技术
• 学科: 工学
• 关键词: 垂直扫描 白光干涉 显微干涉系统 一维位移工作台
• 年，卷（期）: 2010,（1）
• 所属期刊栏目: 测试与仪器
• 页码范围: 81-84
• 页数: 4页
• 分类号: TG84
• 字数: 2433字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-7008.2010.01.024

摘要

研究开发了一种新型垂直扫描白光显微干涉测最仪.基于Linnik显微干涉结构,设计了干涉测量仪的显微干涉系统,介绍了干涉系统的工作原理;设计了Z向一维位移工作台,介绍了其结构和驱动原理;分析了测量仪的工作原理,并采用标准样板对测量仪的测量精度进行了验证.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王生怀		43	105	6.0	8.0
3	陈育荣		32	113	5.0	9.0
4	谢铁邦		92	848	17.0	24.0