锗晶体放电切割中钝化物形成机理及防范方法

• 作者: 刘志东 毕勇 汪炜 田宗军 胡燕伟 邱明波 黄因慧
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 锗晶体 电火花线切割 钝化物
• 年，卷（期）: 2010,（2）
• 页码范围: 534-538
• 分类号: O472|TG662
• 字数: 2603字
• 语种: 中文

摘要

在利用电火花线切割(WEDM)加工锗晶体时,会出现回路放电电流逐渐减少,并伴随着进电材料与锗晶体间有钝化物的生成,最终导致放电切割无法延续.本实验对放电切割状态进行了实验模拟并生成了钝化物,运用XRD技术对钝化物进行了分析,提出了一种防范钝化物产生的方法,最后采用这种方法利用改进的线切割机床对N型锗进行了放电切割,高效稳定地加工出了工件,从而验证了这种防钝化物产生方法的可行性,为进一步提高锗晶体的放电加工工艺指标奠定了基础.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	田宗军	南京航空航天大学机电学院	220	2027	21.0	32.0
2	黄因慧	南京航空航天大学机电学院	219	2593	26.0	36.0
3	汪炜	南京航空航天大学机电学院	96	639	12.0	20.0
4	刘志东	南京航空航天大学机电学院	229	1912	22.0	29.0
5	邱明波	南京航空航天大学机电学院	78	554	13.0	20.0
6	毕勇	南京航空航天大学机电学院	5	8	2.0	2.0
7	胡燕伟	南京航空航天大学机电学院	3	5	1.0	2.0