低温沉积硅薄膜电池及其在塑料衬底上的应用

• 作者: 侯国付 倪牮 张建军 耿新华 薛俊明 袁育杰 赵颖 赵鹏
• 来源期刊: 太阳能学报
• 学科: 工学
• 关键词: 低温沉积 硅薄膜太阳电池 塑料衬底 柔性电池
• 年，卷（期）: 2010,（1）
• 所属期刊栏目: 理论与实践
• 页码范围: 40-44
• 页数: 5页
• 分类号: TK513.5
• 字数: 3603字
• 语种: 中文

摘要

采用射频等离子体增强化学气相沉积(RF-PECVD)技术,保持衬底温度在125℃沉积硅薄膜材料及电池,研究了硅烷浓度、辉光功率等沉积参数对材料和电池性能的影响.在125℃的低温条件下,通过优化沉积工艺,在玻璃衬底和PET塑料衬底上分别制备出效率达到6.8%和3.9%的单结非晶硅电池.在PET衬底上,将低温沉积非晶硅电池的技术应用于的叠层电池的顶电池,制备出效率为4.6%的非晶/微晶硅叠层电池.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	薛俊明	南开大学光电子薄膜器件与技术研究所	26	157	7.0	11.0
2	赵颖	南开大学光电子薄膜器件与技术研究所	105	1195	16.0	33.0
3	侯国付	南开大学光电子薄膜器件与技术研究所	23	203	9.0	13.0
4	张建军	南开大学光电子薄膜器件与技术研究所	26	54	5.0	7.0
5	赵鹏	南开大学光电子薄膜器件与技术研究所	19	116	3.0	10.0
6	倪牮	南开大学光电子薄膜器件与技术研究所	11	10	2.0	3.0
7	袁育杰	南开大学光电子薄膜器件与技术研究所	6	4	1.0	2.0
8	耿新华		1	3	1.0	1.0