一种新颖的制备聚合物光电薄膜的旋涂装置

• 作者: 张剑平 文尚胜 桂宇畅 王保争 赵宝锋
• 来源期刊: 半导体技术
• 学科: 化学
• 关键词: 聚合物 旋涂 均匀性 薄膜
• 年，卷（期）: 2010,（9）
• 页码范围: 903-905
• 分类号: TN305|O611
• 字数: 3181字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-353x.2010.09.012

摘要

设计了一种新颖的制备聚合物光电薄膜的旋涂装置.该设计在传统旋涂装置的基础了,通过增加聚合物溶液载台转盘法向进动功能,改进了聚合物溶液成膜质地疏松、致密度不高问题,减少了成膜过程中产业气泡等缺陷的几率.通过增加聚合物溶液载台转盘径向变轴功能,改善了聚合物薄膜径向厚度的均匀性,从而可以借助于旋涂法制备更大尺寸的薄膜器件.理论和试验结果表明,该项改进设计对提高聚合物光电薄膜的制备质量有一定的实用价值.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	文尚胜	华南理工大学高分子光电材料与器件研究所	96	434	11.0	15.0
2	桂宇畅	华南理工大学高分子光电材料与器件研究所	10	19	2.0	4.0
3	王保争	华南理工大学高分子光电材料与器件研究所	17	58	5.0	7.0
4	张剑平	华南理工大学高分子光电材料与器件研究所	17	80	5.0	8.0
5	赵宝锋	华南理工大学高分子光电材料与器件研究所	8	20	2.0	4.0