氧化锌纳米棒/单晶硅的酒精传感器研究

• 作者: 周小岩 张晶 王文新
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 传感器 气敏 ZnO纳米棒/单晶Si 水热合成
• 年，卷（期）: 2010,（10）
• 页码范围: 1390-1393
• 分类号: TP212.1|TN304.92
• 字数: 2830字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2010.10.005

摘要

首先采用射频溅射在单晶硅(Si)上制备氧化锌(ZnO)薄膜,作为生长ZnO纳米棒的晶种层,再在水热条件下生长ZnO纳米棒.X射线衍射、X射线能量色散谱,扫描电镜及室温光致发光谱对样品的物相结构、成分、表面微观形貌和晶体缺陷进行了表征.结果表明合成的ZnO纳米棒是六方纤锌矿结构,长径比较高,结晶良好.研究了ZnO纳米棒/单晶Si传感器在空气和酒精气体中的电压-电流(Ⅰ-Ⅴ)特性,阻抗谱及响应-恢复时间.该传感器在+6 V的偏置电压下,其电阻在0.08 g/L酒精气体中下降71%,响应时间小于1 min,可以作为一种新型的酒精气体传感器.