一种基于梳状滤波器的固体腔厚度测量方法

• 作者: 卢进军 屈战国 张志利 蔡伟 邓春林
• 来源期刊: 光电工程
• 学科: 物理学
• 关键词: 梳状滤波器 固体腔厚度 高精度测量 滤光片设计 F-P法珀干涉
• 年，卷（期）: 2010,（4）
• 所属期刊栏目: 光电测量
• 页码范围: 44-47
• 分类号: O484.4:TN247
• 字数: 1848字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-501X.2010.04.009

摘要

针对密集波分复用(DWDM)技术中所使用的梳状滤波器,对固体腔研磨厚度指标要求极高△v=200 GHz,△d≤13.37 nm,本文提出运用法布里-珀罗干涉理论(Fabry-Perot),研究设计了一种针对固体腔厚度的现场检测方法.该方法根据被测元件等效为系统干涉腔的间接测量方法,以通过被测元件后的法珀相邻能量极值特性,作为检测厚度合格的判定依据,实现了对超窄带梳状滤波器组成元件--未镀膜层固体腔(SiO_2)的高精度厚度检测.实验结果表明,该测量方法适用于对透光介质的厚度检测.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	邓春林		6	22	3.0	4.0
3	卢进军	西安工业大学光电学院	19	49	4.0	6.0
4	张志利		135	1062	16.0	25.0
5	蔡伟		42	431	10.0	19.0