多晶硅定向生长的实验研究

• 作者: 戴永年 梅向阳 马文会 魏奎先
• 来源期刊: 铸造技术
• 学科: 工学
• 关键词: 多晶硅 晶体生长 定向凝固
• 年，卷（期）: 2010,（6）
• 页码范围: 702-705
• 分类号: TN304
• 字数: 2911字
• 语种: 中文

摘要

以埚底料为原料进行定向凝固实验,从晶体生长和提纯的角度分析,拉伸速度为20 μm/s是较优的实验条件.根据多晶硅锭纵截面的腐蚀照片和XRD晶体取向分析得出,底部定向生长的效果明显,<111>方向是晶体生长的主要方向,单向生长比较明显,铸锭中上部晶体取向变得相对混乱.此外,还利用晶体的淘汰机制和合并机制分析了晶体生长的过程.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	戴永年	昆明理工大学材料与冶金工程学院	225	2103	22.0	33.0
5	马文会	昆明理工大学材料与冶金工程学院	11	190	7.0	11.0
9	梅向阳	昆明理工大学材料与冶金工程学院	20	202	10.0	13.0
11	魏奎先	昆明理工大学材料与冶金工程学院	23	164	7.0	12.0