磁控管非平衡状态对Cr膜微观形貌及性能的影响

• 作者: 文晓斌 李显 梁戈 蒋百灵
• 来源期刊: 材料热处理学报
• 学科: 工学
• 关键词: 磁控管非平衡度 微观形貌 纳米硬度 抗磨损性
• 年，卷（期）: 2010,（10）
• 页码范围: 100-105
• 分类号: TG144|TB43
• 语种: 中文

摘要

采用直流磁控溅射方法于不同磁控管非平衡度状态下,通过单靶溅射模式在单晶si衬底上制备了Cr膜.利用AFM、SEM、四探针测试仪及MTS Nano Indenter XP纳米压入测量仪分别对两种磁控管非平衡状态下所得Cr膜的微观形貌、电阻率、纳米硬度和抗磨损性进行了观察和分析,研究了不同磁控管非平衡状态下Cr膜微观结构与性能之间的关系.结果表明:磁控管非平衡状态显著影响着Cr膜的微观结构及性能.不同非平衡度状态下,镀层晶体均为沿Cr(110)择优生长的柱状晶组织.同一靶基距处,镀层晶粒尺寸及硬度与非平衡度大小成正比,而电阻率及抗磨损性能变化趋势却相反.靶基距亦为影响镀层微观结构和性能的重要因素之一.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	蒋百灵	西安理工大学材料科学与工程学院	241	5240	40.0	64.0
2	梁戈	西安理工大学材料科学与工程学院	16	229	9.0	15.0
3	文晓斌	西安理工大学材料科学与工程学院	9	100	4.0	9.0
4	李显	西安理工大学材料科学与工程学院	4	11	2.0	3.0