新型碳纳米管复合薄膜材料的气敏性能

• 作者: 林伟 陈文哲 黄世震
• 来源期刊: 华南理工大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 多壁碳纳米管 复合薄膜 传感器 气敏性能 二氧化氮
• 年，卷（期）: 2010,（9）
• 页码范围: 102-107
• 分类号: TP212.2
• 字数: 4472字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-565X.2010.09.019

摘要

采用射频反应磁控溅射锡(Sn)靶和钨(W)靶的方法制备了SnO2/WO3/MWCNT复合薄膜材料和相应的气敏传感器,通过FSEM、XRD和XPS等方法分析了复合薄膜材料的横断面表面形貌、物相结构及表面化学组成,测试了该气敏传感器的灵敏度、选择性和响应恢复等气体敏感性能.实验结果表明:该复合薄膜气敏传感器具有较好的气敏性能,对NO2有较好的灵敏度,对其他干扰气体不敏感;SnO2/WO3/MWCNT薄膜中,W、Sn、C主要以W+6、Sn+4和C的形式存在.文中还对气敏响应机理进行了初步的分析与讨论.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	黄世震	福州大学材料科学与工程学院	93	587	13.0	19.0
2	林伟	福州大学材料科学与工程学院	121	547	12.0	17.0
3	陈文哲	福州大学材料科学与工程学院	121	1359	19.0	31.0