MEMS高g加速度传感器固有频率的优化及验证

• 作者: 刘俊 朱正强 李平 杜康 石云波
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS高g加速度传感器 固有频率 优化 谐振现象 动态测试
• 年，卷（期）: 2010,（3）
• 所属期刊栏目: 传感器信号处理
• 页码范围: 388-392
• 页数: 5页
• 分类号: TP212
• 字数: 3041字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2010.03.020

摘要

由于设计的MEMS高g加速度传感器固有频率低,导致测试过程中出现谐振现象.本文分析了传感器的特殊结构参数对固有频率的影响,提出了一种优化固有频率的方法.该方法通过减小质量块质量和优化梁厚度与长度的比例来调整传感器的固有频率,并通过理论仿真验证了该结构的固有频率从330 kHz提高到550 kHz,然后利用动态测试系统对优化前后的高g加速度传感器分别在20 000 g_n和150 000 g_n作用下测试输出信号.实验表明该优化方法提高了该类传感器结构的固有频率,明显消除了测试中的谐振现象.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘俊	中北大学电子测试技术国家重点实验室	181	1162	17.0	24.0
2	石云波	中北大学电子测试技术国家重点实验室	108	610	14.0	20.0
3	杜康	中北大学电子测试技术国家重点实验室	8	39	3.0	6.0
4	李平	中北大学电子测试技术国家重点实验室	5	27	3.0	5.0
5	朱正强	中北大学电子测试技术国家重点实验室	2	8	1.0	2.0