具有并行加工模块的组合设备故障响应策略

• 作者: 伍乃骐 潘春荣
• 来源期刊: 计算机集成制造系统
• 学科: 工学
• 关键词: 组合设备 故障响应 Petri网 晶圆制造
• 年，卷（期）: 2010,（4）
• 所属期刊栏目: 论文
• 页码范围: 887-895
• 分类号: TP278
• 字数: 9674字
• 语种: 中文

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	伍乃骐	广东工业大学机电工程学院	77	815	15.0	25.0
2	潘春荣	广东工业大学机电工程学院	14	75	5.0	8.0