基于激光干涉的接触式微位移测量仪

• 作者: 王淑珍 谢铁邦
• 来源期刊: 工具技术
• 学科: 工学
• 关键词: 计量学 微位移测量 激光十涉 十字片簧铰链 光电阵列
• 年，卷（期）: 2010,（1）
• 所属期刊栏目: 测试与仪器
• 页码范围: 105-108
• 页数: 4页
• 分类号: TH741|TG802
• 字数: 2544字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-7008.2010.01.031

摘要

介绍的基于激光干涉的微位移测量仪具有分辨率高、结构简单、成本低的特点.该微位移测量仪由幕于迈克尔逊激光干涉原理的微位移测量装置、工作台、光电阵列、信号处理电路、计算机及数据处理软件等组成.该测量仪位移测量理论分辨力可以达到0,01nm,特别适合范围在微米及微米以下的位移测量,可用于MEMS器件的位移检测,压电器件位移检测等.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	谢铁邦		92	848	17.0	24.0
2	王淑珍		13	70	4.0	8.0