Si纳米线的固-液-固可控生长及其形成机理分析

• 作者: 彭英才 白振华 范志东 马蕾
• 来源期刊: 物理学报
• 学科: 物理学
• 关键词: Si纳米线 Au-Si液滴合金 固-液-固生长 结构表征
• 年，卷（期）: 2010,（2）
• 所属期刊栏目: 凝聚物质:结构、热学和力学性质
• 页码范围: 1169-1174
• 分类号: O4
• 语种: 中文

摘要

以Au膜作为金属催化剂,直接从n-(111)Si单晶衬底上制备了直径为30-60 nm和长度从几微米到几十微米的高质量Si纳米线.实验研究了Au膜层厚、退火温度、N_2气流量和生长时间对Si纳米线形成的影响.结果表明,通过合理选择和优化组合上述各种工艺条件,可以实现直径、长度、形状和取向可控的纳米线生长.基于固-液-固生长机理,定性阐述了Si纳米线的形成过程.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	马蕾	河北大学电子信息工程学院	43	157	8.0	10.0
2	彭英才	河北大学电子信息工程学院	103	593	12.0	19.0
6	范志东	河北大学电子信息工程学院	14	41	4.0	6.0
7	白振华	河北大学电子信息工程学院	5	14	2.0	3.0