超声喷雾热解法制备铝掺杂氧化锌薄膜

• 作者: 严志宸 张海明 朱彦君 高波
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 化学
• 关键词: Al掺杂ZnO 透明导电薄膜 超声喷雾
• 年，卷（期）: 2010,（6）
• 页码范围: 1376-1380
• 分类号: O614.24+1
• 字数: 2415字
• 语种: 中文

摘要

采用超声喷雾热解法在玻璃衬底上制作了不同浓度Al掺杂的ZnO: Al薄膜(AZO).采用扫描电镜(SEM)、X射线衍射(XRD)、光致发光(PL)、反射光谱(Res)、四探针测试仪等测试了不同Al掺杂浓度下AZO薄膜的表面形貌、晶体结构和光学、电学性能.SEM结果表明低掺杂浓度时AZO表面致密,随着Al浓度的增加薄膜表面孔洞增多,平整度降低.XRD结果表明当nZn/nAl物质的量比为100: 5时, AZO薄膜为c轴择优取向纤锌矿结构.PL谱结果表明不同浓度的Al掺杂AZO薄膜具有近带边紫外发射和深能级发射两个发射峰,且紫外发射峰随着Al3+浓度的增加先蓝移后红移.反射光谱表明所有样品在可见光区的反射率较低..方阻测试结果表明当nZn/nAl为100: 5时,AZO薄膜具有良好的导电性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张海明	天津工业大学理学院	55	265	7.0	14.0
2	高波	天津工业大学理学院	12	35	3.0	5.0
3	朱彦君	天津工业大学理学院	12	35	3.0	5.0
4	严志宸	天津工业大学理学院	1	18	1.0	1.0