非接触式承片台流体动力学仿真分析

• 作者: 孔繁久 谷德君 陈波
• 来源期刊: 机械工程师
• 学科: 工学
• 关键词: CFD技术 伯努利承片台 设计方法
• 年，卷（期）: 2010,（1）
• 所属期刊栏目: 制造业信息化
• 页码范围: 78-79
• 页数: 2页
• 分类号: TN305.7
• 字数: 2000字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-2333.2010.01.037

摘要

介绍了一种伯努利原理非接触式承片台设计的新方法,即使用流体动力学软件对承片台的结构和性能进行分析,并详细叙述了承片台结构网格的划分方法.根据仿真结果对其结构进行改进设计,设计产品最终达到了良好的使用效果.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	谷德君		4	9	2.0	3.0
2	陈波		4	6	2.0	2.0
3	孔繁久		1	3	1.0	1.0