掠入射X射线散射法测量超光滑表面

• 作者: 孟艳丽 王永刚 陈斌 陈波 马文生
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 物理学
• 关键词: 掠入射X射线散射法 超光滑表面 微扰理论 功率谱密度(PSD) 原子力显微镜(AFM) 系统误差
• 年，卷（期）: 2010,（1）
• 所属期刊栏目: 现代应用光学
• 页码范围: 60-68
• 页数: 9页
• 分类号: O434.19|O433.4
• 字数: 4430字
• 语种: 中文

摘要

介绍了掠入射X射线散射法(GXRS)测量超光滑表面的原理及基于商业用X射线衍射仪改造而成的实验装置.选择3片不同粗糙度的硅片作为实验样品,根据一级矢量微扰理论对各个样品所测量的散射分布进行处理.结果表明,GXRS法得到的样品功率谱密度函数(PSD)与使用原子力显微镜(AFM)所测量的结果基本相符.分析了探测器接收狭缝的宽度和入射光发散度对实验结果的影响,结果表明,在其他实验条件理想的情况下,当探测器接收狭缝宽度＜0.02 mm,入射光发散度＜43″时,在空间频率＞0.03 μm-1的范围内,由其引起的PSD函数测量误差＜2%.随着探测器接收狭缝宽度和入射光发散度的减小,测量误差呈指数迅速减小.在所测量的空间频率范围内,PSD函数的误差随频率的增加而减小,仪器的重复精度优于2.6%.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈波	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	167	1116	17.0	24.0
2	陈斌	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	105	1004	16.0	28.0
3	马文生	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	7	37	4.0	6.0