Ge纳米点/Si纳米线复合结构制备及微结构特征分析

• 作者: 叶敏华 张荣 徐子敬 施毅 濮林 王丁迪 郑有炓 韩民
• 来源期刊: 功能材料
• 学科: 工学
• 关键词: 纳米点 纳米线 制备 微结构
• 年，卷（期）: 2010,（8）
• 页码范围: 1332-1335
• 分类号: TN304.1|O472
• 字数: 3142字
• 语种: 中文

摘要

结合金属纳米颗粒辅助化学刻蚀法制备Si纳米线和低压化学气相外延自组织生长Ge纳米点制备了Ge纳米点/Si纳米线复合结构,采用电子显微镜、微区原子力/拉曼联合测试系统进行了微结构表征.Ge纳米点基本均匀地分布于Si纳米线上,通过改变生长参数可有效控制Ge纳米点的尺寸和密度.在非常扁薄的无支撑的纳米点/线复合结构中,由于应力和热效应的作用使Si和Ge的拉曼散射特征峰发生了较大的红移.