808 nm含铝半导体激光器的腔面镀膜

• 作者: 刘云 张金龙 彭航宇 李再金 杨晔 王烨 王立军 秦莉 胡黎明
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 808 nm半导体激光器 镀膜 腔面
• 年，卷（期）: 2010,（6）
• 所属期刊栏目: 现代应用光学
• 页码范围: 1258-1263
• 分类号: TN248.4
• 字数: 1722字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20101806.1258

摘要

研究了高功率808 nm量子阱脊型波导结构含铝半导体激光器在空气中解理时不同镀膜方法对输出激光功率的影响,讨论了半导体激光器的灾变性光学镜面损伤机理及其腔面钝化薄膜的选择特性.对半导体激光器管芯前后腔面不镀膜,前后腔面镀上反射膜和前后腔面先镀上钝化薄膜再镀腔面反射膜方法进行了对比,测试了半导体激光器的输出功率.结果表明,先镀上钝化薄膜的器件比只镀上腔面反射膜的器件输出的激光功率高36%.只镀腔面反射膜的半导体激光器器件在电流为5 A时就失效了,而镀钝化膜的器件在电流为6 A时仍未失效,说明镀钝化薄膜的器件能有效地防止灾变性光学损伤和灾变性光学镜面损伤.在半导体激光器芯片腔面镀上钝化薄膜是提高大功率半导体激光器输出功率的有效方法.