薄膜导热系数的测量方法及技术

• 作者: 张敏 李凌智 柳清菊 王伟伟
• 来源期刊: 功能材料
• 学科: 物理学
• 关键词: 薄膜 导热系数 测量
• 年，卷（期）: 2010,（5）
• 所属期刊栏目: 研究与开发
• 页码范围: 870-873,877
• 分类号: O484.5
• 字数: 4492字
• 语种: 中文

摘要

随着微型机电系统及集成电路的发展,器件中大量使用了微米、纳米量级厚度的薄膜,对其导热系数测量的研究有助于器件的设计和热优化工作.综述了当前几种测量薄膜导热系数的主要方法及技术,分析了各自的优点及不足,并对其以后的发展趋势做了简要分析.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	柳清菊	云南大学云南省高校纳米材料与技术重点实验室	145	1693	22.0	33.0
2	王伟伟	云南大学云南省高校纳米材料与技术重点实验室	2	10	2.0	2.0
3	李凌智	云南大学云南省高校纳米材料与技术重点实验室	4	9	2.0	3.0
4	张敏	云南大学云南省高校纳米材料与技术重点实验室	11	18	3.0	4.0