薄膜材料的椭圆偏振数据分析方法

• 作者: 李威 金承钰
• 来源期刊: 光谱实验室
• 学科: 化学
• 关键词: 椭偏术 椭圆偏振仪 模型 薄膜 光学常数
• 年，卷（期）: 2010,（1）
• 页码范围: 66-76
• 页数: 11页
• 分类号: O657.39
• 字数: 5249字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-8138.2010.01.014

摘要

椭圆偏振的数据处理一直存在很多困难,本文是作者从事椭偏数据分析工作的经验总结.介绍了椭偏数据分析中光谱选择范围的依据,提出了初步判别材料性质的方法.研究了一些常用模型及其应用范围,阐述了针对不同类型样品的数据分析方法,并分析了初始参数对分析结果的影响,为椭圆偏振的数据分析提供了快速易行的方法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李威	上海交通大学分析测试中心	43	201	7.0	12.0
2	金承钰	上海交通大学分析测试中心	11	89	5.0	9.0