基于柔性衬底的三维生物刺激微电极阵列研究

• 作者: 刘景全 周然 朱军 陈翔 陈迪 黄闯
• 来源期刊: 传感器与微系统
• 学科: 工学
• 关键词: 生物电极 视觉假体 MEMS技术
• 年，卷（期）: 2010,（5）
• 页码范围: 134-136
• 分类号: TN405|TP212.3
• 字数: 1923字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-9787.2010.05.042

摘要

设计了一种基于聚酰亚胺薄膜的三维生物刺激微电极阵列,用于植入式人造视网膜应用.采用非硅MEMS技术,在柔性衬底上制备出具有生物相容性和化学稳定性,电极高度为80 μm的生物刺激电极阵列,通过PDMS牺牲层实现器件从基底的完整释放.实验中器件以聚酰亚胺和PDMS封装,电极柱和焊盘均镀金,从而提高电极的生物相容性.采用三电极法对微电极进行了电化学性能测试,在10-1～105Hz频率范围内,其阻抗为1.5～0.3 kΩ.制造出的器件尺寸小,质量轻,可靠性高,机械柔性好,符合生物电刺激要求.