不同参数对GDP薄膜的结构与力学性能的影响

• 作者: 何智兵 张林 闫建成 阳志林
• 来源期刊: 原子能科学技术
• 关键词: 辉光放电聚合物 FT-IR光谱 纳米压痕 力学性能
• 年，卷（期）: 2010,（8）
• 页码范围: 989-994
• 分类号: TB322
• 语种: 中文

摘要

采用辉光放电等离子体聚合技术,在不同制备参数条件下,制备了辉光放电聚合物(GDP)薄膜.利用傅里叶变换红外吸收光谱对GDP薄膜的化学结构组成进行了分析,采用纳米压痕技术对GDP薄膜的硬度及杨氏模量进行了表征,探讨了GDP薄膜的化学结构组成、硬度及杨氏模量随制备参数的变化规律.研究表明:随着工作气压和反式二丁烯与氢气(T2B/H2)流量比逐渐降低,GDP薄膜中SP3(CH3)基团随之降低,SP2(CH2)基团含量和SP3(CH1,2)随之增加;GDP薄膜的硬度与杨氏模量随着工作气压、T2B/H2流量比的降低而逐渐增大.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张林	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	233	1406	18.0	25.0
2	何智兵	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	46	212	7.0	11.0
3	阳志林	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	5	19	3.0	4.0
4	闫建成	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	7	27	4.0	4.0