4H-SiC肖特基结式Alpha效应微型核电池

• 作者: 乔大勇 姚贤旺 臧博 苑伟政
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 碳化硅 肖特基 Alpha效应电池 241Am源 4H-SiC
• 年，卷（期）: 2010,（10）
• 页码范围: 1403-1407
• 分类号: TN305
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2010.10.008

摘要

阐述了一种4H-SiC肖特基结式Alpha效应微型核电池.利用Schottky结取代常用的p-n结,在活度为0.025mCi/cm2的241Am源辐照下进行测试,得到了开路电压Voc为0.25 V、短路电流密度氏为7.64 nA/cm2和输出功率密度Pmax为1.12 nW/cm2.在对4H-SiC肖特基结研制过程中的一些关键工艺进行研究之后,采用XRD法对欧姆接触成分进行了分析,结果表明形成了二元合金相Ni2Si.为了防止界面态密度的提高而导致漏电流增大,肖特基结的设计和加工过程都要严格控制污染源.考虑了所讨论的几个重要影响因素之外,可通过更换大活度放射源、高效地收集方式和提高工艺质量等方式来提高电池的性能.