色分离光栅的溶胶凝胶化学法制备工艺

• 作者: 刘春泽 周斌 周昌鹤 杜艾 沈军
• 来源期刊: 原子能科学技术
• 关键词: 色分离光栅 衍射效率 光敏
• 年，卷（期）: 2010,（7）
• 页码范围: 799-803
• 分类号: O484.4
• 语种: 中文

摘要

以锆酸丁酯为源,通过溶胶凝胶法制备了一种光敏ZrO2溶胶,在熔石英表面通过提拉法镀制具有负性光刻胶性质的光敏凝胶薄膜.在此基础上,设计色分离光栅(CSG)的结构,通过二次曝光、显影过程,制备了具有三台阶结构的CSG.对光栅形貌进行表征,周期为210 μm,单台阶高度约为500 nm,光栅面积为30 mm×30 mm.采用Nd:YAG激光器对衍射效率进行了测量,测得CSG对355 nm激光衍射效率达到约88 4%,1 064 nm及532 nm激光的衍射效率分别为5 7%和4 2%.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	周斌	同济大学上海市特殊人工微结构材料与技术重点实验室	140	1582	22.0	31.0
2	沈军	同济大学上海市特殊人工微结构材料与技术重点实验室	199	2285	26.0	36.0
3	刘春泽	同济大学上海市特殊人工微结构材料与技术重点实验室	7	58	4.0	7.0
4	杜艾	同济大学上海市特殊人工微结构材料与技术重点实验室	18	67	5.0	7.0
5	周昌鹤	同济大学上海市特殊人工微结构材料与技术重点实验室	5	19	2.0	4.0