使用红外干涉仪测量非球面面形

• 作者: 贺俊 陈磊
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 光学测量 非球面 红外干涉仪 波像差
• 年，卷（期）: 2010,（1）
• 所属期刊栏目: 现代应用光学
• 页码范围: 69-74
• 页数: 6页
• 分类号: TN216|TH744.3
• 字数: 2768字
• 语种: 中文

摘要

提出用红外干涉仪在长波工作(λ=10.6 μm)的优点检测非球面面形.首先,通过移相算法,使用泰曼型红外干涉仪测量出非球面与标准拟合球面之间的波像差;然后,根据非球面的矢高方程计算出非球面与标准拟合球面之间波像差的理论值,通过比较这两个值,计算出非球面的面形偏差.实验结果表明,使用红外干涉仪测量的非球面与标准拟合球面之间的波像差为8.64 μm(PV),与理论波像差(8.11 μm)比较接近,测得非球面面形偏差为1.20 μm(PV).为了验证这一方法的准确性,使用计算全息图(CGH)作为补偿镜在可见光干涉仪上测量了同一块非球面,两者测量结果比较吻合.结果表明,此方法有比较强的通用性,可以用于非球面在加工过程中的测试.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈磊	南京理工大学电子工程与光电技术学院	133	991	16.0	23.0