石英玻璃的化学机械磨削加工

• 作者: 仇中军 周立波 房丰洲 椎名刚志 江田弘
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 化学机械磨削 石英玻璃 正交试验法
• 年，卷（期）: 2010,（7）
• 页码范围: 1554-1561
• 分类号: TQ171.68
• 字数: 5048字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20101807.1554

摘要

为了实现石英玻璃基板的高效、高质量加工,进一步改善光掩模设备的性能,进行了石英玻璃化学机械磨削(CMG)加工技术的研究.通过在磨削过程中主动增强磨粒、结合剂以及磨削液与工件的化学反应,并使化学反应与机械去除作用形成动态平衡,从而消除因材料脆性去除而造成的表面损伤等,实现了大口径玻璃工件的高表面质量、高形状精度的加工.针对石英玻璃CMG加工的特点,开发了CMG专用砂轮及磨削液,利用正交实验法优化了石英玻璃CMG加工工艺参数,分析了CMG加工过程中磨削压力、砂轮转速、磨削液流量、pH值等因素对加工表面粗糙度及加工效率的影响,并利用优化后的工艺参数加工得到了Ra为0.795 nm的石英玻璃表面.加工后基板的光学性能和化学机械抛光(CMP)加工基板的光学性能相同,能够满足光掩模设备的性能需求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	房丰洲	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	60	448	12.0	18.0
2	仇中军	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	14	124	6.0	11.0