MEMS节点化建模及其在集成微系统设计中的应用

• 作者: 彭倍 朱子才 王永泉 陈花玲
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 微机电系统(MEMS) 系统级仿真 节点分析法 VHDL-AMS 等效电路
• 年，卷（期）: 2010,（1）
• 所属期刊栏目: 微纳技术与精密机械
• 页码范围: 197-204
• 页数: 8页
• 分类号: TN603.5|TP212
• 字数: 6164字
• 语种: 中文

摘要

为实现MEMS产品的快速设计和性能验证,在借鉴其结构化设计思想即节点分析法的基础上,提出了一种与常规信号流类比不同,适于集成微机电系统快速仿真的等效电路建模思路和方法.首先,对系统及MEMS器件进行功能及结构分解;然后,分别对各基本单元进行节点化建模,并在一定的机电类比规则下将其转换为等效电网络(元件);最后,根据节点变量约束关系,将这些等效网络(元件)逐层重构为器件级和系统级等效电路.结合一类典型MEMS集成系统--梳齿式静电反馈微加速度计的分析实例,对上述方法进行了具体介绍和验证.利用OrCAD等电路仿真器分析、测试了所建立的体现多能域耦合关系的微系统数字化分析原型,结果显示,相对于VHDL-AMS描述法,该模型具有单一域内的更加直观的模型形式和快捷的仿真速度,表明本文提出的方法在复杂MEMS集成系统的分析设计中具有一定的应用价值.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈花玲	西安交通大学机械工程学院	142	1688	22.0	34.0
2	王永泉	西安交通大学机械工程学院	38	352	11.0	18.0
3	彭倍	电子科技大学机电工程学院	10	38	2.0	6.0
4	朱子才	西安交通大学机械工程学院	13	66	5.0	8.0