ICP光源中频率测量装置的设计

• 作者: 杜江 王超 石宝松 金星
• 来源期刊: 计算机测量与控制
• 关键词: ICP光源 频率测量 射频
• 年，卷（期）: 2010,（4）
• 所属期刊栏目: 自动化测试
• 页码范围: 749-751
• 分类号: TN741
• 语种: 中文

摘要

针对产生并维持电感耦合等离子体(ICP)的要求,简要介绍了频率稳定性对于ICP光源的意义,提出了测量范围为1.8～52MHz的频率测量装置的设计方案;文章详细分析了频率测量装置中的电路设计,包括采样互感器、功率合成电路、可变增益放大器和控制单元,并介绍了频率测量的软件设计方案;利用数字频率特性测试仪SA1050对频率测量装置进行了测试,在氩气等离子体的激发实验中,对ICP光源的频率稳定性进行了测量,通过对实验数据的分析统计,得到ICP光源的频率稳定度≤±0.1‰,可以满足ICP光源的使用要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杜江		3	7	2.0	2.0