双端谐振型SAW气体传感器的优化设计

• 作者: 孙萍 李琨 杜晓松 胡佳 蒋亚东
• 来源期刊: 传感器与微系统
• 学科: 物理学
• 关键词: 声表面波器件 化学传感器 数值仿真 优化设计 双端谐振 粘弹性 衰减
• 年，卷（期）: 2010,（9）
• 所属期刊栏目: 设计与制造
• 页码范围: 97-100
• 分类号: O429
• 字数: 2892字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-9787.2010.09.032

摘要

针对FPOL敏感膜ST切石英基底双端谐振型SAW传感器的频率响应特性和敏感机理进行了理论分析.采用P矩阵级联方法与微扰理论,系统地讨论了影响传感器频率响应特性与探测灵敏度的因素.研究结果表明:在优化设计传感器器件结构的基础上,还需合理选择敏感区宽度、敏感膜材料特性及厚度,以提高探测灵敏度、降低插入损耗.给出了优化后的器件结构和敏感膜参数,可对双端谐振型SAW传感器的设计号性能分析提供重要参考.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	蒋亚东		17	98	5.0	9.0
2	胡佳		3	11	1.0	3.0
3	杜晓松		3	11	1.0	3.0
4	李琨		1	1	1.0	1.0
5	孙萍		1	1	1.0	1.0