锆钒合金非晶膜的制备及性能研究

• 作者: 彭述明 赵北君 郝万立 龙兴贵
• 来源期刊: 功能材料
• 学科: 工学
• 关键词: 锆钒合金 非晶膜 表面成分 生长形貌 动态力学性能
• 年，卷（期）: 2010,（4）
• 所属期刊栏目: 研究与开发
• 页码范围: 594-597
• 分类号: TB31|TB34
• 字数: 2318字
• 语种: 中文

摘要

采用磁控溅射法制备出V/Zr比为2:1的非晶态锆钒合金膜,系统研究了合金膜的物相、表面成分、生长形貌和动态力学性能.研究结果表明,在533～773K的沉积温度区间内,合金膜呈现非晶态,表面存在约26nm厚的氧化层,其组成与膜基体显著不同;合金膜在钼基片上以球形岛状模式生长;膜的动态硬度DHT115和弹性模量Eit/(1-υ2)随沉积温度的升高在583K处出现极大值,分别达到436.8GPa和1.13E+5 N/mm2.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	龙兴贵	中国工程物理研究院核物理与化学研究所	123	496	10.0	16.0
2	彭述明	中国工程物理研究院核物理与化学研究所	97	341	10.0	14.0
3	赵北君	四川大学材料科学系	132	744	14.0	19.0
4	郝万立	四川大学材料科学系	16	38	3.0	4.0