脉冲离子束轰击靶的热效应数值模拟

• 作者: 石磊
• 来源期刊: 原子能科学技术
• 关键词: 脉冲离子束 靶 数值模拟
• 年，卷（期）: 2010,（z1）
• 页码范围: 572-575
• 分类号: TL51
• 语种: 中文

摘要

分析了脉冲离子轰击靶膜和衬底的热效应,在能量较低的情形下,离子轰击处理为靶膜表面热流输入.采用有限元程序,对能量为600keV、束流为12mA的不同束斑半径的脉冲离子流轰击Cu基Ti靶的热传导进行了数值计算,得到了热传导清晰物理图象.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	石磊		16	57	4.0	6.0