辉光放电光谱仪用高稳定度高压恒流源的研制

• 作者: 万真真 李小佳 王永青 王海舟
• 来源期刊: 高电压技术
• 学科: 工学
• 关键词: 高压恒流源 绝缘栅双极型晶体管 辉光放电 原子发射光谱仪 等离子体 溅射
• 年，卷（期）: 2010,（3）
• 页码范围: 722-727
• 分类号: TM83
• 字数: 4398字
• 语种: 中文

摘要

直流辉光放电等离子体激发光源工作时需要0.5～1.5 kV的高电压以及5～100 mA恒定可控的电流.放电电流的稳定性对辉光放电光源的稳定工作至关重要,为此,研制了一种用于辉光放电光谱仪的高稳定度高压恒流源.该恒流源用于驱动Grimm型辉光放电光源对样品进行溅射和光谱激发,恒流源采用绝缘栅双极型晶体管(IGBT)和高精度低漂移运算放大器,结合电路图介绍了其工作原理及过压、过流、过热保护措施.经实验验证,恒流源输出开路电压为1.1 kV,输出电流为O～100 mA连续可调,该恒流源的输出电流稳定性高,保证了辉光放电光谱仪样品成分分析的精密度,其负载调整率和输入电压调整率均<0.05%;此恒流源驱动Grimm型辉光放电等离子体激发光源对金属样品溅射效果良好,给出了溅射坑表面形貌图以及显微照片、溅射速率.对GBSA6800x不锈钢标样中的Cr、Cu、Al、W 元素测试结果相对标准偏差(RSD)<2.5%.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王海舟		117	1234	21.0	28.0
2	李小佳		28	156	7.0	11.0
3	王永青		28	248	6.0	15.0
7	万真真		2	13	2.0	2.0