固结磨粒金刚石线锯技术的研究

• 作者: 席珍强 杜红文
• 来源期刊: 现代制造工程
• 学科: 工学
• 关键词: 金刚石线锯 切割工艺参数 分析研究
• 年，卷（期）: 2010,（6）
• 页码范围: 99-101
• 分类号: TH16
• 字数: 2219字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-3133.2010.06.027

摘要

金刚石线锯是一种对硬脆性材料进行精密、窄缝切割技术.其中,固结磨粒金刚石线锯以其切割速度快、耗材成本低及环保等优点被广泛应用于半导体和太阳能电池硅材料的切割加工中.利用目前国内现有的设备和国际上较好的金刚石线锯丝,从切割工艺参数、失效机理等方面对硅材料的固结磨粒金刚石线锯进行了试验和分析,对提高硅材料切割效率与切割质量有一定的指导意义.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	席珍强	浙江理工大学材料研究中心	36	71	5.0	7.0
2	杜红文		30	139	7.0	11.0