衬底温度对制备出CNT膜的影响

• 作者: 张武勤 高金海
• 来源期刊: 现代电子技术
• 关键词: 微波等离子体化学气相沉积 碳纳米管 碳纳米链 陶瓷衬底
• 年，卷（期）: 2010,（12）
• 所属期刊栏目: 新型元器件
• 页码范围: 176-178
• 分类号: TB383|O484
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-373X.2010.12.056

摘要

在陶瓷衬底上通过磁控溅射方法镀上金属钛层,用含铁杂质的氧化硅对钛层进行抛光,通过微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)法在不同的温度下短时间里制备出CNT膜.利用扫描电子显微镜、拉曼光谱,X射线衍射,分析了薄膜的结构和表面形貌.仔细研究不同温度下制备的CNT膜,得出衬底温度400℃时制备的碳膜是以非晶碳为主,600℃时置备的碳膜是良好的碳纳米管膜,800℃制备的碳纳米管膜的缺陷变得很多,以碳纳米链为主.最后得出了温度对催化活性有很大影响的结论.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	高金海		22	25	3.0	4.0
2	张武勤	郑州大学电气工程学院	25	50	5.0	5.0