自支撑透射光栅的设计、制作和测试

• 作者: 刘明 叶甜春 谢常青 马杰
• 来源期刊: 物理学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 自支撑透射光栅 电子束光刻 电镀
• 年，卷（期）: 2010,（4）
• 所属期刊栏目: 唯象论的经典领域
• 页码范围: 2564-2570
• 分类号: O37
• 语种: 中文

摘要

采用标量衍射理论和严格耦合波理论分别计算和讨论了金自支撑透射光栅的衍射效率随波长和光栅周期变化的情况并设计了光栅的结构参数.制作了周期为300 nm、线宽/周期比为0.55、厚度为200 nm、总面积为1 mm×1mm、有效面积比为65%的金自支撑透射光栅.在国家同步辐射实验室检测了该光栅在5.5-38 nm波长范围内的绝对衍射效率.检测结果表明所制作的光栅在8 nm附近具有接近10%的最大衍射效率,并且该光栅对于波长15-35 nm范围内的极紫外波段具有基本稳定的衍射效率.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘明	中国科学院微电子研究所纳米加工与新器件集成研究室	207	1983	20.0	38.0
2	叶甜春	中国科学院微电子研究所纳米加工与新器件集成研究室	200	911	14.0	18.0
3	马杰	中国科学院微电子研究所纳米加工与新器件集成研究室	32	227	10.0	14.0
4	谢常青	中国科学院微电子研究所纳米加工与新器件集成研究室	50	258	9.0	12.0