热处理对TiO_2薄膜微观力学性能的影响

• 作者: 张福成 杨静凯 赵洪力
• 来源期刊: 硅酸盐学报
• 学科: 工学
• 关键词: 氧化钛薄膜 微观力学性能 摩擦因数 热处理 纳米压痕仪
• 年，卷（期）: 2010,（1）
• 所属期刊栏目: 研究论文,中文
• 页码范围: 78-82
• 页数: 5页
• 分类号: TQ171.72
• 语种: 中文

摘要

采用喷涂法在5mm普通浮法玻璃上制备了纳米级锐钛矿型TiO_2薄膜.并进行了不同温度的热处理.采用原子力显微镜、X射线衍射仪和纳米压痕仪分析了薄膜的形貌、结构和微观力学性能.讨论了热处理温度对纳米TiO_2薄膜微观力学性能的影响.结果表明:随着热处理温度由20℃升高到500℃,薄膜中TiO_2均变为锐钛矿型,平均晶粒尺寸略有增加,薄膜表面平整;随热处理温度从350℃升至500℃,平均粗糙度由12.516nm降低至11.433nm;热处理后纳米压痕硬度和弹性模量均有增加,分别由412.6MPa,14.9GPa增加到908.3MP8,28.4GPa;塑性指数逐渐增大,由0.028增大到0.032;摩擦因数由0.166降低到0.120.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张福成	燕山大学材料科学与工程学院	76	495	12.0	19.0
5	赵洪力	燕山大学材料科学与工程学院	31	150	6.0	10.0
9	杨静凯	燕山大学材料科学与工程学院	8	14	3.0	3.0