Nd:YAG纳秒激光诱导硅表面微结构的演化

• 作者: 唐多昌 李国强 李晓红 杨宏道 袁春华
• 来源期刊: 物理学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 纳秒激光诱导 硅 表面微结构 演化
• 年，卷（期）: 2010,（10）
• 页码范围: 7015-7019
• 分类号: O4
• 语种: 中文

摘要

利用Nd:YAG纳秒激光(波长为532和355 nm)对单晶硅在真空中进行了累积脉冲辐照,研究了表面微结构的演化情况.在激光辐照的初始阶段,532和355 nm激光脉冲均在硅表面诱导出了波纹结构,后者辐照硅表面后形成了近似同心但稍显混乱的环形波纹结构.随着脉冲数的增加,波纹结构逐渐演化为一种类似珠形的凹凸结构,最后形成准规则排列的微米量级锥形结构,该微结构的生长依赖于表面张力波和结构自组织.分析发现,形成的交叉环形结构主要是在355 nm激光辐照硅的过程中,表面张力波导致波纹结构部分叠加的结果.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨宏道	西南科技大学理学院激光与光电子实验室极端条件物质特性实验室	6	82	4.0	6.0
2	李晓红	西南科技大学理学院激光与光电子实验室极端条件物质特性实验室	15	101	6.0	10.0
3	李国强	西南科技大学理学院激光与光电子实验室极端条件物质特性实验室	4	22	3.0	4.0
4	袁春华	西南科技大学理学院激光与光电子实验室极端条件物质特性实验室	7	82	4.0	7.0
5	唐多昌	西南科技大学理学院激光与光电子实验室极端条件物质特性实验室	6	81	4.0	6.0