氧化锌掺钇透明导电薄膜的制备及光电特性研究

• 作者: 姜丽莉 宋淑梅 庞志勇 李延辉 杨田林 林亮 辛艳青 韩圣浩
• 来源期刊: 功能材料
• 学科: 工学
• 关键词: 透明导电薄膜 YZO 射频磁控溅射 电阻率 透过率
• 年，卷（期）: 2010,（9）
• 页码范围: 1578-1580,1584
• 分类号: TN304.2
• 字数: 3161字
• 语种: 中文

摘要

采用射频磁控溅射法,室温下在玻璃衬底上制备出了具有良好附着性、低电阻率和高透过率的新型透明导电薄膜YZO(ZnO掺杂Y2O3简称YZO).在薄膜厚度为600nm的情况下,研究了薄膜电学特性随溅射功率和溅射气压的变化情况.X射线衍射谱表明YZO薄膜是多晶膜,具有ZnO的六角纤锌矿结构,最佳取向为(002)方向.最佳溅射条件下制备的薄膜电阻率为8.71×10-4Ω·cm,在可见光范围内平均透过率达到92.3%,禁带宽度为3.57eV.