应用于MEMS陀螺中的Σ-△高通级联型调制器设计

• 作者: 张富强 权海洋 王佩生 胡智勇
• 来源期刊: 微电子学与计算机
• 关键词: MEMS陀螺 MASH(1-1-1) 斩波稳零 Σ-△调制器 高通积分器
• 年，卷（期）: 2010,（12）
• 页码范围: 47-50,54
• 分类号: TP302.8
• 语种: 中文

摘要

研究并设计了一种应用干MEMS陀螺的Σ-△高通级联型调制器.该调制器基干0.35 μm 3.3 V的现代CMOS工艺,选取了无条件稳定的1-1-1 MASH(Multi-stage noise Shaping,多级噪声整形)结构,采用了斩波稳零技术,消除运放1/f噪声和直流偏移.高通积分器的运用,优化了低频信号的传输抗干扰性.本设计中的调制器能够转换MEMS陀螺中带宽40 kHz,范围几十至几百毫伏的目标信号,电路采样时钟频率10.24 MHz,调制器动态范围超过100 dB,有效位数达到17位.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	权海洋		5	15	2.0	3.0
2	张富强		2	7	1.0	2.0
3	王佩生		1	1	1.0	1.0
4	胡智勇		1	1	1.0	1.0