基于ADAMS引线键合机动态性能仿真分析

• 作者: 孙倩 熊荣 许银亮
• 来源期刊: 制造业自动化
• 学科: 工学
• 关键词: 引线键合机 有限元分析 柔体模型 动态仿真
• 年，卷（期）: 2010,（3）
• 所属期刊栏目: 研究与开发
• 页码范围: 1-2,47
• 页数: 3页
• 分类号: TN305
• 字数: 1496字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1009-0134.2010.03.001

摘要

引线键合技术是半导体后续封装的关键技术,在集成电路制造产业领域,随着芯片尺寸的缩 小、I/O密度的增大、封装工艺及材料的改进,对IC封装设备的动态响应速度和稳态定位精度提出更苛刻的要求.为节约开发成本,缩短开发时间,提高效率,可以利用MSC系列软件可以建立虚拟样机模型.同时为提高仿真效果,必须对一些影响键合机工作性能的外界干扰因素进行建模分析.本文利用有限元方法对关键部件进行模态分析,建立键合机的柔体模型,进行动态仿真,分析关键部件对引线键合效果的影响,提出改进的方案.