WO_3薄膜的微观结构与电致变色机制研究

• 作者: 宋桂林 常方高 杨海刚 王天兴 王聪
• 来源期刊: 功能材料
• 学科: 物理学
• 关键词: WO_3薄膜 磁控溅射 靶基距 电致变色机制
• 年，卷（期）: 2010,（2）
• 所属期刊栏目: 研究与开发
• 页码范围: 181-184
• 页数: 4页
• 分类号: O484.4
• 字数: 2837字
• 语种: 中文

摘要

采用直流反应磁控溅射方法在ITO导电玻璃上沉积了WO_3薄膜,研究了靶基距对其微结构和电致变色性能的影响,利用XRD、SEM和XPS对薄膜的微结构和成分进行了表征.通过可见光透射谱对样品的电致变色性能进行了研究,并且讨论了WO_3薄膜电致变色性能与其微结构、价态变化之间的关系.发现靶基距为7cm的情况下沉积得到的WO_3薄膜呈非晶态,薄膜有更多的孔隙,有利于Li~+的抽取,进而显示出较好的电致变色性能.反应溅射制备的WO_3薄膜中W是W~(6+)价态,颜色为透明状,当发生着色反应时,随着薄膜中Li~+成分增加,薄膜颜色变为蓝色,薄膜中W原子为W~(6+)和W~(5+)的混合价态.认为其电致变色的行为是由于Li~+和e~-在薄膜中的注入和拉出引起的W~(6+)和W~(5+)发生转化所致.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王天兴		12	70	5.0	8.0
2	常方高		7	23	3.0	4.0
3	王聪	北京航空航天大学物理科学与核能工程学院凝聚态物理与材料物理研究中心	45	510	12.0	21.0
4	杨海刚		7	44	4.0	6.0
5	宋桂林		14	79	5.0	8.0