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摘要:
2/2mil线宽线细板的制作关键在于图形转移工序,其中图形转移前处理、曝光能量、显影及蚀刻工艺的管控是重点和难点。本文通过具体的工艺管控流程制作出2/2mil线路,为密集线路的制作提供较好的工艺优化参考。
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不同氨基修饰条件对NH2-MIL-53(Al)CO2吸附性能的影响
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稠密棒束
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氧化亚氮
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金属有机骨架MIL-101
咪唑衍生物
合成
二氧化碳
吸附
内容分析
关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 外层2/2mil水金板的试验及生产初探
来源期刊 印制电路资讯 学科 工学
关键词 LDI曝光 干膜 蚀刻 解像度
年,卷(期) 2010,(5) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 95-96
页数 2页 分类号 TN405
字数 语种
DOI
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1 陈昔勇 1 0 0.0 0.0
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研究主题发展历程
节点文献
LDI曝光
干膜
蚀刻
解像度
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
印制电路资讯
双月刊
2070-8467
广东省深圳市南山区南山大道1088号南园
出版文献量(篇)
7384
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