采用Si薄膜的光子计数成像系统性能的研究

• 作者: 刘永安 胡慧君 赵宝升 赵菲菲
• 来源期刊: 物理学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 探测器 光子计数成像 电荷感应 微通道板
• 年，卷（期）: 2010,（10）
• 页码范围: 7096-7104
• 分类号: O4
• 语种: 中文

摘要

在陶瓷基底上利用电子束蒸镀方法制备了Si薄膜,用作感应读出方式光子计数成像系统的电荷感应层,并研究了薄膜的结构特征和表面形态.X射线衍射(XRD)测试和场发射扫描电子显微镜(FESEM)图像表明,沉积的Si薄膜为无定形态,由于陶瓷晶界的存在,薄膜较粗糙.搭建了相应的实验系统,对比了采用不同厚度Si薄膜时系统的空间分辨率、计数率、脉冲高度分布曲线等,发现薄膜的厚度对探测器的计数率影响较大.此外,实验还对比了采用相同电阻值的Si薄膜和常用的Ge薄膜时系统的性能.研究表明,采用Si薄膜时系统的畸变较小、计数率高、暗计数小.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赵宝升	中国科学院西安光学精密机械研究所瞬态光学与光子技术国家重点实验室	47	371	11.0	16.0
2	刘永安	中国科学院西安光学精密机械研究所瞬态光学与光子技术国家重点实验室	26	107	7.0	9.0
3	赵菲菲	中国科学院西安光学精密机械研究所瞬态光学与光子技术国家重点实验室	9	39	4.0	6.0
7	胡慧君	中国科学院西安光学精密机械研究所瞬态光学与光子技术国家重点实验室	7	34	2.0	5.0