SON68玻璃固化体腐蚀层SIMS分析的模型计算

• 作者: Marc Aertsens Pierre Van Iseghem 张华
• 来源期刊: 中国原子能科学研究院年报
• 学科: 物理学
• 关键词: SIMS分析 玻璃固化体 模拟计算 计算模型 腐蚀层 浓度分布 实验数据 分配系数
• 年，卷（期）: 2010,（1）
• 页码范围: 282
• 页数: 1页
• 分类号: O4-33
• 语种: 中文

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张华		6	0	0.0	0.0
2	Marc Aertsens		1	0	0.0	0.0
3	Pierre Van Iseghem		1	0	0.0	0.0