一种新的光栅微位移测量方法的研究

• 作者: 吴慎将 李党娟
• 来源期刊: 信息技术
• 学科: 工学
• 关键词: 莫尔条纹 计数 位移测量 GUI界面
• 年，卷（期）: 2010,（12）
• 页码范围: 86-88,91
• 分类号: TH822
• 字数: 1669字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1009-2552.2010.12.024

摘要

为了实现光栅莫尔条纹的精确计数和微位移的高精度测量,提出了一种新的莫尔条纹精确计数算法.当光栅移动时,通过CCD摄像器件将莫尔条纹转换为动态光电信号,即随时间变换的正弦信号.利用条纹周期性的能量分布曲线,对移动的莫尔条纹进行精确计数和判向,通过使用Matlab软件编辑界面,直观的显示光栅莫尔条纹移动个数及光栅微小位移.通过对莫尔条纹精确计数达到了对微小位移测量.实验结果表明,测量精度可以达到1μm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吴慎将	西安工业大学北方信息工程学院	47	138	7.0	9.0
2	李党娟	西安工业大学陕西省薄膜技术与光学检测重点实验室	31	81	6.0	7.0