FAIMS用非对称方波RF电源系统的研制

• 作者: 唐飞 杨吉 王晓浩
• 来源期刊: 科技与创新
• 关键词: 高场非对称方波 半桥逆变 电源完整性 电磁兼容
• 年，卷（期）: 2010,（35）
• 页码范围: 180-181,170
• 分类号: TP216
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.2095-6835.2010.35.071

摘要

在 FAIMS (High-field Asymmetric Waveform Ion Mobility Spectrometry)系统研究中,基于新型MEMS (Micro-Electro -Me-chanical-System)工艺加工的平板式迁移区需求,提出一个新型的FAIMS仪用高场非对称方波RF电源系统设计方案,以TMS32F821这信号发生及控制核心,对逆变电路结构进行优化设计,并进行电磁兼容完整性分析设计,很好的实现高场非对称方波电压波形输出.并在射频干扰下,对补偿电压进行准确采集.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王晓浩	清华大学精密仪器与机械学系精密测试技术与仪器国家重点实验室	69	765	13.0	25.0
2	唐飞	清华大学精密仪器与机械学系精密测试技术与仪器国家重点实验室	41	247	9.0	12.0
3	杨吉	中北大学电子测试技术国家重点实验室	2	0	0.0	0.0